成都测芯科技有限公司
目前主要产品:晶圆探针台(CHIPTEST)。包括4寸
晶圆探针台采用气浮移动Air-bearing stage技术可提升测试效率
发布时间:2020-06-04

由于载片测试的应用情景越来越多,芯片设计公司对于流片完成后的电参数性能的验证测试,往往使用晶圆探针台来完成;目前市面上可选用的晶圆探针台有全自动型、半自动型以及手动型。从探针台购置成本的角度考虑,在验证性测试时选用手动探针台是一个很好的方案。但是目前大多数手动探针台在操作上都显得效率低下,其原因是设计上使用的传统的丝杆+螺纹的移动方式,保证了移动的精密性,但牺牲了操作时间。

成都测芯科技推出的T-150系列、T-200系列、T-300系列探针台系统,采用气浮移动Air-bearing stage技术。该技术在常规探针台基础上升级了气动控制单元,改变了以往单纯依靠手柄旋转移动载物台的方式。采用气浮移快速动式和千分尺精密移动两种控制结合的操作模式。具有快速移动的优点,又可以精准的位移调节。特别适合晶圆级测试应用,也可用于多个器件,或样片的批次测试。大大提高测试效率和操作的便捷。

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气浮移动Air-bearing stage技术

探针台主要的功能有:

高低温测试环境;探针悬浮功能;Chuck快速移动(气浮移动Air-bearing stage技术);显微镜气动升降功能;Plant快速升降;Plant微调升降并时时高度显示;Chuck快速装片并可任意位置锁定等功能;

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